insoweit die in § 1 Abs. 3 genannten Energieträger für die Erzeugung von Wärme, Dampf oder Warmwasser verwendet wird, ausgenommen unmittelbar für einen Produktionsprozess.insoweit die in Paragraph eins, Absatz 3, genannten Energieträger für die Erzeugung von Wärme, Dampf oder Warmwasser verwendet wird, ausgenommen unmittelbar für einen Produktionsprozess.